型号  AC-M100

产品介绍：
     AC-M100系列的热式气体质量流量控制器/流量计是
松盛测控自主研发的一款模拟信号的小量程产品，其量
程范围可从30SLM至100SLM,适用于氢、氮、氧、一氧
化碳、二氧化碳、稀有气体等近百种气体；本产品采用
新型工艺，＋24V DC供电，最大耐压可达10Mpa。

产品性能：
       1.响应速度快
       2.耐压程度高
       3.抗干扰性强
       4.数据传输远
       5.流量精准控制

应用行业：
真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学与化工实验设备、
食品科学与工程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪
器设备、表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院
所实验室设备。

注：

        1.松盛测控推出的热式气体质量流量控制器和热式气体质量流量计出厂通常用氮气（N2）标
           定。
        2.质量流量单位：SCCM（标准毫升每分钟）   SLM（标准升每分钟）
        3.标准状况：温度--293.15K(20℃)     压力--101325Pa（760mmHg）    F.S（Full Scale）表
           示满量程